64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C ASM板Plcモジュール

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プロダクト細部

根本資料はSiCl4、SiHCl3、POCl13、GeCl4およびBBr3を含んでいます。他の添加材料はできます

それらが正確のための十分な集中と蒸発したら、また管理されていて下さい

ratiodetection。搬送ガスはH2、彼、N2、O2およびArを含んでいます。

3出力は提供されます:源（+5VDCへの0）;キャリア（+5VDCへの0）;比率（+5VDCへの0）。

これらの出力は1000の感受性のあらゆる5ボルトD.Cの電圧計によって監視することができます

オーム/ボルトまたは多く。作り付け弁は源を制御するためにキャリアの質量流量を変えます

外部制御の電圧によって選ばれるグラム/min。

単一の小型パッケージは流量計セクション、比率の探知器、制御弁を含み、

電子工学。

0.1から5 vdcを置く命令

出力徴候

1. 源:蒸発させた液体の質量流量に直線に0.1-5 vdc比例した

2. キャリア:搬送ガスの質量流量に直線に0.1-5 vdc比例した
3.比率:5と量られるキャリアの流れ（SCCM）への蒸気流れ（SCCM）の比率に直線に0.1-5 vdc比例したvdc = 50%

泡立つ（すなわち制御無し） Ratio=0がないし、キャリアが5vdc （普通5.6ボルト）より大きい価値に達するときことに注目して下さい。

出力インピーダンス:10オーム最高

さざ波:最高50 mv PP

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