LVC414 ASMの液体の蒸気蒸発器のコントローラーLVC 414

LVC414 ASMの液体の蒸気蒸発器のコントローラーLVC 414

プロダクト細部

電子蒸発器のコントローラーLVC-414は正確に測定し、制御するように設計されていました

aによる搬送ガスの流れの変化による添加材料の質量流量（グラム/分）

根本資料を含んでいるバブラー。

根本資料はSiCl4、SiHCl3、POCl13、GeCl4およびBBr3を含んでいます。他の添加材料はできます

それらが正確のための十分な集中と蒸発したら、また管理されていて下さい

ratiodetection。搬送ガスはH2、彼、N2、O2およびArを含んでいます。

3出力は提供されます:

源（+5VDCへの0）。

キャリア（+5VDCへの0）

比率（+5VDCへの0）。

これらの出力は1000の感受性のあらゆる5ボルトD.Cの電圧計によって監視することができます

オーム/ボルトまたは多く。作り付け弁は源を制御するためにキャリアの質量流量を変えます

外部制御の電圧によって選ばれるグラム/min。

単一の小型パッケージは流量計セクション、比率の探知器、制御弁を含み、

電子工学

指定

最低の搬送ガスの流れ:最高の5%

最高の源の流れ:40グラムまで/最少フル・スケール

操作圧力範囲:10-40 psiの差動

最高のガス圧力:60のpsig

ガスおよび周囲温度の範囲:60-90°F （15-35°C）特別な要求の43°Cまで

応答:セット・ポイントの中4%への10秒

搬送ガス:水素、ヘリウム、窒素、酸素またはアルゴン、混合されたガス

反復性:フル・スケールの± 0.5%

圧力感覚:10から40 psidまで圧力のためのフル・スケールの± 0.25%

正確さおよび直線性:フル・スケールの終わる全体の動作範囲の± 4.0%

命令設定:0.1から5 vdc

出力徴候:

1. 源:蒸発させた液体の質量流量に直線に0.1-5 vdc比例した

2. キャリア:搬送ガスの質量流量に直線に0.1-5 vdc比例した

3. 比率:キャリアの流れへの蒸気流れ（SCCM）の比率に直線に0.1-5 vdc比例した

（SCCM） vdc = 50% 5と量られて

出力インピーダンス:10オーム最高

さざ波:最高50 mv PP

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電子メール:miya@mvme.cn

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